[发明专利]TEM样品的制备方法有效
| 申请号： | 201010292468.4 | 申请日： | 2010-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN102410947A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 段淑卿;庞凌华;陈柳;王玉科;陈祯祥 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种TEM样品的制备方法，包括步骤：提供检测样片，所述检测样片上具有接触孔以及位于接触孔两侧的金属层，所述金属层与接触孔内的填充金属通过金属连线相连；从所述检测样片中切割出样片，所述样片包括所述接触孔、所述金属连线和所述金属层；在所述样片正面的接触孔、金属互连线和金属层的两侧形成凹坑，所述凹坑具有与所述接触孔、金属互连线和金属层相对的相对面；从所述凹坑的相对面减薄所述样片的接触孔和部分金属连线所在区域的厚度；将所述凹坑之间的样片切割下来，并且切割下来的部分包括被减薄的区域和被减薄区域两侧的具有金属层的未被减薄区域，从而提高了TEM观测的精确性。 | ||
| 搜索关键词： | tem 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种TEM样品的制备方法，其特征在于，包括步骤：提供检测样片，所述检测样片上具有接触孔以及位于接触孔两侧的金属层，所述金属层与接触孔内的填充金属通过金属连线相连；从所述检测样片中切割出样片，所述样片包括所述接触孔、所述金属连线和所述金属层；在所述样片正面的接触孔、金属互连线和金属层的两侧形成凹坑，所述凹坑具有与所述接触孔、金属互连线和金属层相对的相对面；从所述凹坑的相对面减薄所述样片的接触孔和部分金属连线所在区域的厚度；将所述凹坑之间的样片切割下来，并且切割下来的部分包括被减薄的区域和被减薄区域两侧的具有金属层的未被减薄区域。
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