[发明专利]超低频振动计量器具校准系统及其激光干涉仪有效
| 申请号： | 201010292666.0 | 申请日： | 2010-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN101968380A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 于梅;刘爱东;马明德;左爱斌;杨丽峰;胡红波;何闻 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院;浙江大学 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00;G01H9/00;G02B7/182 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 谢建云;刘鹏 |
| 地址： | 100013*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适于在超低频振动计量器具校准系统中使用的激光干涉仪，所述超低频振动计量器具校准系统还包括用于产生超低频振动的振动台，该激光干涉仪包括平面反射镜，其中所述激光干涉仪发射到所述振动台上的测量光由所述平面反射镜进行反射。另外，本发明还公开了采用该激光干涉仪的超低频振动计量器具校准系统。 | ||
| 搜索关键词： | 低频 振动 计量 器具 校准 系统 及其 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种适于在超低频振动计量器具校准系统中使用的激光干涉仪，所述超低频振动计量器具校准系统还包括用于产生超低频振动的振动台，该激光干涉仪包括：平面反射镜，其中所述激光干涉仪发射到所述振动台上的测量光由所述平面反射镜进行反射。
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