[发明专利]一种静压气浮直驱转台

摘要

本发明涉及一种静压气浮直驱转台。所述转台包括底座、底座连接块、转轴、力矩电机转子、力矩电机定子和力矩电机安装框；转轴上固定安装有力矩电机转子，力矩电机定子和力矩电机安装框相连；转轴的上部安装有上气浮环，力矩电机安装框上方设有与上气浮环对应的第一空气轴承组件；转轴的下部安装有下气浮环，力矩电机安装框下方设有与下气浮环对应的第二空气轴承组件；底座连接块设置在第二空气轴承组件的下方，底座设置在底座连接块的下方，所述底座连接块和底座组成第三空气轴承组件。本发明具有很高的动静态性能和精度，能够同时满足先进电子制造、光学检测及制造等极限工作条件下对转台运动性能、承载能力和不污染工作环境的综合要求。

主权项

一种静压气浮直驱转台，其特征在于，包括底座、底座连接块、转轴、力矩电机转子、力矩电机定子和力矩电机安装框；所述转轴上固定安装有力矩电机转子，所述力矩电机定子和力矩电机安装框相连；所述转轴的上部安装有上气浮环，所述力矩电机安装框上方设有与上气浮环对应的第一空气轴承组件，该第一空气轴承组件是对上浮气环的外圆面进行四周支撑的旋转空气轴承组件；所述转轴的下部安装有下气浮环，所述力矩电机安装框下方设有与下气浮环对应的第二空气轴承组件，该第二空气轴承组件是既对下气浮环的顶面进行向下预载的平面止推空气轴承组件，又对下气浮环的外圆面进行四周支撑的旋转空气轴承组件；所述底座连接块设置在第二空气轴承组件的下方，所述底座设置在底座连接块的下方，所述底座连接块和底座组成第三空气轴承组件，该第三空气轴承组件是对下气浮环的底面进行向上支撑的平面止推空气轴承组件。