[发明专利]基板保持装置

摘要

一种基板保持装置，包括：具有箱体本体(11)和箱体盖(12)的箱体(10)；多个基板(13，14，15)，沿基板(13，14，15)的厚度方向被保持于箱体(10)中；以及形成于箱体本体(11)上的多个支撑部(21，22，23)，多个支撑部根据多个支撑部的端面(21a，22a，23a)在厚度方向上的高度被分为多个支撑部组，在多个支撑部组中的每一组中所述端面的高度彼此相同，所述多个基板中的一个基板由在多个支撑部组的一组中的支撑部的端面支撑并且包括由导槽(13c)形成的周缘部，在多个支撑部组的另一组中的支撑部沿厚度方向被插入到导槽中，在多个支撑部组的这一组中的支撑部的端面的高度低于在多个支撑部组的该另一组中的支撑部的端面的高度。

主权项

一种基板保持装置，包括：箱体(10)，其包括形成为具有底面的筒状的箱体本体(11)以及遮盖该箱体本体(11)的开口端的箱体盖(12)；其上安装有电路的多个基板(13，14，15)，所述多个基板(13，14，15)以在所述多个基板(13，14，15)的厚度方向上相互重叠的方式沿所述箱体本体(11)的开口方向被容置和保持于所述箱体(10)中；以及多个支撑部(21，22，23)，所述多个支撑部以突出的方式呈柱状地形成于所述箱体本体(11)的内壁面上并且沿所述多个基板(13，14，15)的厚度方向延伸，所述多个支撑部(21，22，23)根据所述多个支撑部的端面(21a，22a，23a)在所述厚度方向上的高度被分为多个支撑部组，在所述多个支撑部组的每一组中，所述多个支撑部(21，22，23)的端面(21a，22a，23a)的高度彼此相同，所述多个基板中的一个基板由在所述多个支撑部组的一组中的支撑部的端面支撑并且包括由导槽(13c)形成的周缘部，在所述多个支撑部组的另一组中的支撑部沿所述厚度方向被插入到所述导槽中，在所述多个支撑部组的这一组中的支撑部的端面的高度低于在所述多个支撑部组的该另一组中的支撑部的端面的高度。