[发明专利]一种光学元件透射损耗测量方法

摘要

一种光学元件透射损耗测量方法，连续激光经模式匹配透镜组整形后沿光轴进入光学谐振腔，将相隔距离略大于待测光学元件厚度的两可变光阑置于光学谐振腔内，其通光孔径小于待测光学元件口径。触发关断激光束后记录光学谐振腔输出信号拟合出衰荡时间τ0；然后将待测光学元件置于光学谐振腔内两可变光阑之间，调节待测光学元件使其表面垂直于光轴，记录光学谐振腔输出信号拟合出衰荡时间τ1；再调节待测光学元件角度使其表面直接反射光逸出光学谐振腔，记录光学谐振腔输出信号拟合出衰荡时间τ2。通过τ0和τ1可得待测光学元件的吸收损耗A；通过τ1和τ2可得待测光学元件的表面增透膜剩余反射率R。本发明具有结构简单，测量精度高，系统成本低等优点。

主权项

1.一种光学元件透射损耗测量方法，其特征在于实现步骤如下：(1)连续激光经模式匹配透镜组整形后沿光轴从镜面中心进入高反射镜组成的光学谐振腔；将两可变光阑相隔一定间距置于所述光学谐振腔中间位置附近且垂直于光轴，两可变光阑通光孔径小于待测光学元件口径，两可变光阑间距离大于待测光学元件厚度；所述光学谐振腔输出信号幅值高于设定阈值时，触发关断入射激光束，记录光学谐振腔输出信号，按单指数衰减函数拟合出衰荡时间τ₀；(2)将待测光学元件置于所述光学谐振腔内预先放置的两可变光阑之间，待测光学元件表面垂直于光轴，当光学谐振腔输出信号幅值高于设定阈值时，触发关断入射激光束，记录光学谐振腔输出信号，按单指数衰减函数拟合出衰荡时间τ₁；(3)调节待测光学元件角度使待测光学元件表面相对于光轴稍倾斜，使待测光学元件表面直接反射光逸出光学谐振腔，记录光学谐振腔输出信号，按单指数衰减函数拟合出衰荡时间τ₂；(4)通过τ₀和τ₁计算得到待测光学元件的吸收损耗A；通过τ₁和τ₂计算得到待测光学元件表面增透膜剩余反射率R，公式如下：待测光学元件吸收损耗待测光学元件表面增透膜剩余反射率其中L为光学谐振腔长，c为光速。