[发明专利]一种解决镀膜玻璃边缘效应的方法无效
| 申请号： | 201010296023.3 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102021523A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 武瑞军 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种解决镀膜玻璃边缘效应的方法，其利用磁控溅射的方法将靶材原子沉积在玻璃的表面，在位于玻璃上方的所述的靶材的溅射通道上布有氩气，在玻璃的下方布有减缓溅射的工艺气体，所述的减缓溅射的工艺气体为氧气或者氮气。本发明在不改变原有的设备和方法的基础上，只在玻璃的下方布减缓溅射的气体(氧气或者氮气等)，而由于玻璃的阻挡作用，这些减缓溅射的气体只会从玻璃的边缘进入溅射区域，从而就降低了玻璃边缘的溅射速度，减薄了边部的膜层的厚度，从而解决了镀膜玻璃的边缘效应的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解决 镀膜 玻璃 边缘 效应 方法 | ||
【主权项】：
一种解决镀膜玻璃边缘效应的方法，其利用磁控溅射的方法将靶材原子沉积在玻璃的表面，在位于玻璃上方的所述的靶材的溅射通道上布有惰性气体，其特征在于：在玻璃的下方布有减缓溅射的工艺气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司，未经吴江南玻华东工程玻璃有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010296023.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：内燃机涡轮增压器轮盘损伤的修复方法
- 下一篇：冷轧钛带卷退火方法
- 同类专利
- 专利分类
