[发明专利]用于形成薄膜锂离子电池的方法有效
申请号: | 201010296037.5 | 申请日: | 2010-09-27 |
公开(公告)号: | CN102035029A | 公开(公告)日: | 2011-04-27 |
发明(设计)人: | 皮埃尔·布隆 | 申请(专利权)人: | 意法半导体(图尔)公司 |
主分类号: | H01M10/058 | 分类号: | H01M10/058;H01M4/139;H01M10/0525 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 李中奎;钟锦舜 |
地址: | 法国图尔皮*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 一种用于形成锂离子型电池的方法,包括以下连续步骤:在衬底中形成沟道;相继且保形地沉积包括阴极集电极层、阴极层、电解质层、以及阳极层的层叠,该层叠具有的厚度小于所述沟道的深度;在所述结构上形成填充所述沟道中剩余的空间的阳极集电极层;以及平坦化所述结构,以露出所述阴极集电极层的上表面。 | ||
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【主权项】:
一种用于形成锂离子型电池的方法,包括以下连续步骤:(a)在衬底(10)中形成沟道(12);(b)相继且保形地沉积层叠(14),该层叠包括阴极集电极层(16)、阴极层(18)、电解质层(20)以及阳极层(22),该层叠具有的厚度小于所述沟道的深度;(c)在所述结构上形成填充所述沟道(12)中剩余的空间的阳极集电极层(26);以及(d)平坦化所述结构,以露出所述阴极集电极层(16)的上表面。
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