[发明专利]具有激光定位功能的振容式静电传感器无效
申请号: | 201010296468.1 | 申请日: | 2010-09-29 |
公开(公告)号: | CN101949981A | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | 刘志远;于娜;柴寿臣;郭宏伟;刘成利;刘柏青;姜晶;蔡春丽 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
主分类号: | G01R29/24 | 分类号: | G01R29/24;G01C15/00 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 张宏威 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 具有激光定位功能的振容式静电传感器,涉及一种振容式静电传感器,它解决了现有的静电传感器的测量精度低的问题。它的敏感元件上开有静电场感应窗,敏感元件的信号输出端与放大电路的信号输入端连接,放大电路的信号输出端与滤波器的信号输入端连接,滤波器的信号输出端与信号补偿电路的信号输入端连接;两只激光管对称分布在敏感元件的左、右两侧,且所述两根激光管发出的激光光束会聚在敏感元件的中心线的延长线上。本发明适用于电子产品制造到测试、组装、生产、现场设备运行的静电测试。 | ||
搜索关键词: | 具有 激光 定位 功能 振容式 静电 传感器 | ||
【主权项】:
具有激光定位功能的振容式静电传感器,其特征是:它包括敏感元件(2)、电路板(3)、滤波器(7)和两只激光管(5),电路板(3)上包括信号放大电路(31)和信号补偿电路(32),敏感元件(2)的感应面上开有静电场接收窗(4),敏感元件(2)的信号输出端与放大电路(31)的信号输入端连接,放大电路(31)的信号输出端与滤波器(7)的信号输入端连接,滤波器(7)的信号输出端与信号补偿电路(32)的信号输入端连接;两只激光管(5)对称分布在敏感元件(2)的左、右两侧,且所述两只激光管(5)发出的激光光束会聚在敏感元件(2)的中心线的延长线上。
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