[发明专利]一种硫酸/双氧水微蚀液稳定剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201010296599.X | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101962775A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 何世武;崔磊;李建光;李明军;吴超;王大定 | 申请（专利权）人： | 深圳市洁驰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于微蚀领域，提供了一种硫酸/双氧水微蚀液稳定剂及其制备方法。该硫酸/双氧水微蚀液稳定剂包括如下重量百分含量的组分：醇3-6％，有机胺10-15％，磺酸2-5％，水40-85％。该硫酸/双氧水微蚀液稳定剂，通过稳定剂中醇、有机胺及磺酸的强负性O、N原子和双氧水分解的自由基团[HO·2]形成氢键，有效的降低了[HO·2]活性，大大减少了双氧水的分解，维持了微蚀液中双氧水的浓度，保证在硫酸/双氧水(H2SO4/H2O2)微蚀液的微蚀过程中，微蚀速率稳定，微蚀后，板面光滑、均匀不发黑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硫酸 双氧水 微蚀液 稳定剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硫酸/双氧水微蚀液稳定剂，所述硫酸/双氧水微蚀液稳定剂包括如下重量百分含量的组分：醇 3‑6％有机胺 10‑15％磺酸基化合物 2‑5％水 40‑85％。
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