[发明专利]单一匹配网络、其构建方法和该匹配网络射频功率源系统有效
| 申请号： | 201010296641.8 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102438389A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 欧阳亮;刘磊;钱学明;陈金元 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种适用于至少两个频率输入的单一匹配网络，用于选择性地给所述两个频率中的任一频率提供射频功率匹配给一等离子体负载，所述单一匹配网络包括一连接至所述多频率输入的输入端和一连接至所述等离子体负载的输出端，在所述输入端和输出端之间包括相互串联的电容以及电感，并且所述电容和电感构成一支路，所述电容的电容值为C0，所述电感的电感值为L0，其中，所述电容值C0和电感值L0满足如下关系：jω1L0+1/jω1C0＝jy1jω2L0+1/jω2C0＝jy2其中，ω1＝2πf1，ω2＝2πf2，所述f1和f2分别为所述两个频率的频率大小，y1为在频率f1下达到匹配状态所述支路所需要的阻抗，y2为在频率f2下达到匹配状态所述支路所需要的阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 单一 匹配 网络 构建 方法 射频 功率 系统 | ||
【主权项】：
一种适用于至少两个频率输入的单一匹配网络，用于选择性地给所述两个频率中的任一频率提供射频功率匹配给一等离子体负载，所述单一匹配网络包括一连接至所述多频率输入的输入端和一连接至所述等离子体负载的输出端，在所述输入端和输出端之间包括相互串联的电容以及电感，并且所述电容和电感构成一支路，所述电容的电容值为C0，所述电感的电感值为L0，其中，所述电容值C0和电感值L0满足如下关系：jω1L0+1/jω1C0＝jy1jω2L0+1/jω2C0＝jy2其中，ω1＝2πf1，ω2＝2πf2，所述f1和f2分别为所述两个频率的频率大小，y1为在频率f1下达到匹配状态所述支路所需要的阻抗，y2为在频率f2下达到匹配状态所述支路所需要的阻抗。
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