[发明专利]脉冲小孔侧部喷射制备均一粒子的方法及装置

摘要

本发明涉及脉冲小孔侧部喷射制备均一粒子的方法及装置，在熔池内外惰性气体存在压力差的条件下，通过加热器将原料加热至熔融状态，利用压电陶瓷在脉冲驱动信号的激励下产生向带孔坩埚侧的位移，并由传动杆及压片传递给融体，使一定量的微小融体通过坩埚侧部的不同尺寸的小孔射出，继而以不同的初速度作类平抛运动，在降落过程中产生不同的水平位移，从而在底部分层获得不同粒径的均一粒子。利用所述方法及装置制备出的粒子大小一致、组织成分均一、粒径可控、圆球度高，并且适合于熔点较低的各种材料，可以满足生产的连续性和稳定性；尤其是实现底部自动分层的目的，生产效率得到极大提高，完全满足现代微电子封装行业的要求和发展。

主权项

一种脉冲小孔侧部喷射制备均一粒子的装置，其特征在于：它包括可分别开启的密封的真空室和回收仓；回收仓固定放置于真空室的下面；所述真空室的壳体上设置真空泵和供气管I，真空室内设置有粒子喷射装置和用以支撑所述粒子喷射装置的支架；所述粒子喷射装置包括：装有加热器的熔池，其上还安装有供气管II，接通到真空室外；带孔坩埚，其一侧壁上设有一个以上孔径不同的喷射孔，对侧壁上固定有压片，所述压片通过水平设置并仅可沿其轴向产生水平位移的传动杆连接压电陶瓷；所述带孔坩埚位于所述熔池下方并以连通管相互连通；所述回收仓内设置了与所述喷射孔数量一致的降落管和与所述降落管一一对应并密封连通的回收室；所述降落管贯通回收仓的上顶和真空室的底部，并对应所述不同孔径的喷射孔喷射出的不同粒度的粒子的下落位置设置；所述带孔坩埚、喷射孔及降落管的材质的熔点均高于所制备粒子的材质熔点，并且与所制备粒子的材质的润湿角均大于90°。