[发明专利]一种控制长晶界面的多晶炉热场结构无效

专利信息
申请号: 201010299013.5 申请日: 2010-10-08
公开(公告)号: CN102108544A 公开(公告)日: 2011-06-29
发明(设计)人: 张志强;黄振飞;黄强 申请(专利权)人: 常州天合光能有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 王凌霄
地址: 213031 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种控制长晶界面的多晶炉热场结构,具有上炉体、下炉体,上炉体内设置有隔热笼和上保温板,下炉体内设置有底保温板,支撑杆支撑隔热笼内的石墨助凝块,石墨助凝块两端边缘均倒挂有L形保温板,隔热笼内壁底部装有侧保温板,加热时,隔热笼、侧保温板、底保温板、上保温板形成封闭空腔;长晶时,侧保温板与L形保温板之间的间隙为5~30mm。本发明在多晶铸锭生长时,使其结晶界面始终维持为较为理想的平面状态,从而使铸锭多晶晶锭的径向电阻率更为均匀,提高硅片电性能的均匀性,减少晶体中的径向温度梯度,从而降低晶体内的热应力,减少晶体缺陷,提高电池的转换效率。
搜索关键词: 一种 控制 界面 多晶 炉热场 结构
【主权项】:
一种控制长晶界面的多晶炉热场结构,具有上炉体(8)、下炉体(5),上炉体(8)内设置有隔热笼(11)和带导气筒(7)的上保温板(1),下炉体(5)内设置有由支撑杆(6)支撑的底保温板(14),其特征在于:所述的支撑杆(6)同时支撑隔热笼(11)内的石墨助凝块(4),装有硅原料的石英坩埚(2)放置在石墨坩埚(3)内,石墨坩埚(3)置于石墨助凝块(4)上,石墨坩埚(3)上方和侧方均设置有加热器(9),所述的石墨助凝块(4)两端边缘均倒挂有L形保温板(12),所述的L形保温板(12)窄边厚度为20~80mm,L形保温板(12)高度为90~150mm,所述的隔热笼(11)内壁底部装有侧保温板(13),侧保温板(13)高度为200~300mm,侧保温板(13)厚度为20~80mm;加热时,隔热笼(11)、侧保温板(13)、底保温板(14)、上保温板(1)形成封闭空腔;长晶时,隔热笼(11)向上提起,侧保温板(13)提升至L形保温板(12)旁侧,侧保温板(13)与L形保温板(12)之间的间隙为5~30mm。
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