[发明专利]用于抗蚀剂的保护层的聚合物以及包括其的聚合物组合物

摘要

本发明披露了一种用于抗蚀剂保护层的聚合物、包括该聚合物的抗蚀剂保护层组合物、以及形成图案的方法。该聚合物包括由以下化学式1表示的第一重复单元以及第二重复单元，该第二重复单元包括由以下化学式2至6表示的至少一种重复单元。[化学式1]、[化学式2]、[化学式3][化学式4]、[化学式5]、[化学式6]在化学式1至6中，每种取代基与在具体实施方式中限定的相同。

主权项

1.一种用于抗蚀剂保护层的聚合物，包括：第一重复单元，所述第一重复单元由以下化学式1表示；以及第二重复单元，所述第二重复单元包括由以下化学式2至6表示的至少一种重复单元：[化学式1]其中，在化学式1中，R₁是氢、氟、或取代或未取代的烷基基团，R₂是氢或取代或未取代的烷基基团，R₃和R₄是相同或不同的，并且是氢、氟、或取代或未取代的烷基基团，R₅至R₆是相同或不同的，并且是氢或氟烷基基团，条件是至少一个R₅至R₆是-(CH₂)_n-CF₃，其中n是0至10，R₇是OH或SH，以及a是从0至10的整数，[化学式2]其中，在化学式2中，R₂₀是氢、氟、或取代或未取代的烷基基团，R₂₁是单键或亚烷基基团，以及R₂₂至R₂₄是相同或不同的，并且是氢、氟、取代或未取代的烷基基团、OR₂₅、或OR₂₆OH，其中R₂₅和R₂₆是相同或不同的，并且是氢、氟、取代或未取代的烷基基团、或Si(R₂₇)₃，其中R₂₇是氢、氟、或取代或未取代的烷基基团，[化学式3]其中，在化学式3中，R₃₀是氢、氟、或取代或未取代的烷基基团，R₃₁是单键、或取代或未取代的亚烷基基团，以及R₃₂至R₃₄是相同或不同的，并且是氢、氟、取代或未取代的烷基基团、或OR₃₅，其中R₃₅是氢、氟、取代或未取代的烷基基团、或Si(R₃₆)₃，其中R₃₆是氢、氟、或取代或未取代的烷基基团，[化学式4]其中，在化学式4中，R₄₀是氢、氟、或取代或未取代的烷基基团，R₄₁是单键、或亚烷基基团，其中碳被氮部分地取代或未取代，以及R₄₂是取代或未取代的烷基基团或OH基团，[化学式5]其中，在化学式5中R₅₀是氢、氟、或取代或未取代的烷基基团，R₅₁是单键，或直链、支链、或环状亚烷基基团，其中碳被氮部分地取代或未取代，以及R₅₂是取代或未取代的烷基基团或OH基团，[化学式6]其中，在化学式6中，R₆₀是氢、氟、或取代或未取代的烷基基团，以及R₆₁是氢、取代或未取代的烷基基团、或羟烷基基团。