[发明专利]测量装置有效
| 申请号： | 201010500647.2 | 申请日： | 2010-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN102033030A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | I·F·廷德尔;J·H·文森特;L·P·克鲁姆普勒 | 申请（专利权）人： | 莫林斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/04 | 分类号： | G01N13/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张兰英;丁晓峰 |
| 地址： | 英国弥尔*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 披露一种测量装置，其中阻挡层(2)将腔室分成第一区域(10)和第二区域(20)。阻挡层(50)具有已知厚度(T)并包括具有已知半径(R)的孔。气流装置在第一区域(10)内提供二氧化碳流(12)并在第二区域(20)内提供氮气流(22)。气体检测器(28)测量第二区域(20)中的二氧化碳浓度，而处理器(32)基于已知的通孔特性来计算从一个区域至另一区域的理论扩散通量。处理器(32)配置成基于已知的通孔特性来计算校准参数以将测得的参数与理论扩散通量联系起来。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
【主权项】：
测量装置，包括：腔室；将所述腔室分成第一和第二区域的阻挡层，其中所述阻挡层包括各自具有已知特性的一个或多个通孔；检测器，设置成测量与气体透过所述阻挡层从一个区域至另一区域的扩散通量有关的参数；处理器，配置成计算校准参数以将源自测量的参数与源自所述通孔的所述已知特性的参数联系起来；以及用于存储由所述处理器计算的所述校准参数的数据存储装置，其中所述阻挡层能够由另一阻挡层取代，以使得所述测量装置能通过用所述检测器测量参数并应用存储在所述数据存储装置中的所述校准参数来确定与跨所述另一阻挡层的扩散通量有关的参数。
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