[发明专利]喷液头、喷液装置及压电元件有效
| 申请号： | 201010502376.4 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102029789A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 宫泽弘;两角浩一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045;H01L41/083 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 陈海红;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能得到良好移位量的喷液头、喷液装置和压电元件。具有：具有连通于喷嘴孔(28a)的压力室(20a)的基板(20)；和压电元件，使压力室内的液体中产生压力变化，具有下部电极(10)、形成于下部电极(10)的上方的包含钙钛矿型氧化物的压电体层(12)和形成于压电体层(12)的上方的上部电极(14)。压电体层(12)具有位于下部电极(10)侧的第一压电体层(12a)和位于第一压电体层(12a)与上部电极(14)之间的第二压电体层(12b)，第一压电体层(12a)的极化轴，优先朝向该第一压电体层的膜面内方向，第二压电体层(12b)以准立方晶表示优先按(100)取向。 | ||
| 搜索关键词： | 喷液头 装置 压电 元件 | ||
【主权项】：
一种喷液头，其具有：基板，该基板具有连通于喷嘴孔的压力室；和压电元件，该压电元件具有下部电极、形成于所述下部电极的上方的包含钙钛矿型氧化物的压电体层和形成于所述压电体层的上方的上部电极，使所述压力室内的液体中产生压力变化，该喷液头中，所述压电体层具有位于所述下部电极侧的第一压电体层和位于所述第一压电体层与所述上部电极之间的第二压电体层，所述第一压电体层的极化轴，优先朝向该第一压电体层的膜面内方向，所述第二压电体层，以准立方晶的表示按(100)优先取向。
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