[发明专利]腔系列有效
| 申请号： | 201010502726.7 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102433539A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 饭尾逸史;一色雅仁 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种腔系列，其目的在于将用于开关盖部的设备变得简单易构筑，对降低成本也有效。其具备：轨道(11、12)，沿着多个腔(4A～4E)的排列方向(D)而配置；顶板变换器(13)，沿着轨道(11、12)移动自如，且分别使设置在多个腔(4A～4E)的多个顶板(盖部)(9)升降而可以开关腔。顶板变换器(13)沿着多个腔(4A～4E)的排列方向(D)移动自如，且可以升降任意腔(4A～4E)的顶板(9)。其结果，能够用一个顶板变换器(13)使多个腔(4A～4E)开关，且将用于开关腔(4A～4E)的设备变得简单易构筑，对降低成本也有效。 | ||
| 搜索关键词： | 系列 | ||
【主权项】：
一种腔系列，邻接排列多个具有盖部的腔，其特征在于，具备：轨道部，沿着所述腔的排列方向配置；和开关机构，沿着所述轨道部移动自如，且使设置在所述腔的所述盖部升降而能够开关所述腔。
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