[发明专利]一种压电驱动的F-P腔可调谐滤波器

摘要

本发明属于光学滤波领域，具体涉及一种压电驱动的F-P腔可调谐滤波器。本发明包括底座、卡槽、微位移平台调节旋钮、微位移平台、可调光学镜架、固定镜架、位移放大机构、压电陶瓷叠堆、支架和光学布拉格反射镜。它采用压电陶瓷叠堆作为驱动原件，实现了宏观机械结构的微位移变化，结合自行设计的光学膜系，达到了F-P腔滤波器的可调谐滤波功能。给两个压电陶瓷叠堆施加完全相同的驱动电压，可以使两个压电陶瓷叠堆做竖直方向的运动，位移放大机构将压电陶瓷叠堆的竖直位移转化为放大后的反射镜的水平位移，从而改变F-P腔的腔长，达到光学滤波的目的。

主权项

一种F‑P腔可调谐滤波器，其特征在于，微位移平台(4)与底座(1)锁紧，第一、第二卡槽(2a，2b)分别位于微位移平台(4)的两侧，支架(9)与第一、第二卡槽(2a，2b)连接，第一、第二卡槽(2a，2b)与底座(1)锁紧；支架(9)上开有通光孔，固定镜架(6)与支架(9)之间安装有第一、第二位移放大机构(7a，7b)，第一、第二位移放大机构(7a，7b)位于通光孔的两侧；第一光学布拉格反射镜(10)与可调光学镜架(5)粘结，第二光学布拉格反射镜(11)与固定镜架(6)粘结；可调光学镜架(5)与微位移平台(4)连接，微位移平台(4)通过内置弹簧与微位移平台调节旋钮(3)锁紧；第一光学布拉格反射镜(10)、第二光学布拉格反射镜(11)和支架(9)上的通光孔位于同一光轴；第一、第二光学布拉格反射镜(10)，(11)的相向内侧镀有相同的膜系，该膜系的表层和底层均为高折射率的介质膜，中间层为低折射率的介质膜，或者为二层低折射率的介质膜内夹一层高折射率的介质膜，且高、低折射率之差大于等于1.92，膜系中每层介质膜的光学厚度均为1/4波长，第一压电陶瓷叠堆(8a)内嵌于第一位移放大机构(7a)内部，压电陶瓷叠堆(8b)内嵌于位移放大机构(7b)内部，第一压电陶瓷叠堆(8a)产生的位移分别通过第一位移放大机构(7a)转变为垂直方向的放大位移；第二压电陶瓷叠堆(8b)产生的位移分别通过第二位移放大机构(7b)转变为垂直方向的放大位移。