[发明专利]超低温冷冻装置及真空装置

摘要

本发明涉及一种超低温冷冻装置，于使用混合沸点相互各异复数种冷媒的混合冷媒的超低温冷冻装置(R)中，为确保对于过冷却器(31)的液体冷媒流量，增大低温盘管(32)的冷却效率，对于设置了低温盘管(32)及毛细管(29)的主冷媒回路(38)、上流端连接于上述主冷媒回路(38)的上流端，设置了毛细管(28)的副冷媒回路(39)，使副冷媒回路(39)的高度位置低于主冷媒回路(38)的高度位置。使自过冷却器(31)一次一侧(31a)喷出的气液混合状态冷媒流入副冷媒回路(39)的流量比流入主冷媒回路(38)的流量多，流向副冷媒回路(39)的液体冷媒流量比流入主冷媒回路(38)的流量增加。

主权项

一种超低温冷冻装置，其特征为：包括由冷媒回路连接的以下部分：压缩机，压缩混合沸点相互各异的复数种类冷媒的混合冷媒；冷凝器，冷却上述压缩机喷出的混合冷媒中高沸点冷媒至液化；复数级气液分离器，按照混合冷媒中自高沸点冷媒至低沸点冷媒的顺序分离由上述冷凝器液化了的混合冷媒为液体冷媒及气体冷媒；复数级分级热交换器，将上述各气液分离器分离了的气体冷媒，与由该各气液分离器分离后再由减压器减压了的液体冷媒的热交换进行冷却；和冷却器，具有蒸发自上述复数级中最后一级的分级热交换器喷出的且减压了的低沸点冷媒对冷却对象进行冷却至超低温水准，上述冷媒回路上，连接了防止上述压缩机喷出压力异常上升的复数个缓冲罐，上述复数个缓冲罐，是由至少包括一个第一缓冲罐，与位于比该第一缓冲罐更低位置的至少一个第二缓冲罐组成，上述第一及第二缓冲罐，由使气体冷媒于第一及第二缓冲罐之间流通的连通管相互连接，上述第二缓冲罐上连接着压缩机喷出一侧及吸入一侧的冷媒回路。