[发明专利]二氧化硅玻璃坩埚的制造装置以及制造方法有效
| 申请号： | 201010503569.1 | 申请日： | 2010-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102031558A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 铃木江梨子;岸弘史 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C03B20/00 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 日本秋田县秋*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供二氧化硅玻璃坩埚的制造装置以及制造方法，可以进行正确的烟尘产生量的测量，从而能防止内表面的特性的降低，同时也能实时地进行原料熔融状态的控制。上述装置用于制造二氧化硅玻璃坩埚50，即，将二氧化硅粉放入模具10内并形成二氧化硅粉层，对该二氧化硅粉层11进行电弧放电将其加热熔化，以此制造二氧化硅玻璃坩埚50，该装置包括：规定二氧化硅玻璃坩埚的外形的模具10；具备多个碳电极13以及电力供给单元40的电弧放电单元；检测在模具10内产生的烟尘80的量的烟尘量测量部30。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化硅 玻璃 坩埚 制造 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种二氧化硅玻璃坩埚的制造装置，是将二氧化硅粉放入模具内并形成二氧化硅粉层，对该二氧化硅粉层进行电弧放电将其加热熔化的，制造二氧化硅玻璃坩埚的装置，其特征在于包括：规定二氧化硅玻璃坩埚的外形的模具；具备多个电极以及电力供给单元的电弧放电单元；检测在上述模具内产生的烟尘的量的烟尘量测量部。
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