[发明专利]异型电极微型电场传感器有效

专利信息
申请号: 201010504163.5 申请日: 2010-09-30
公开(公告)号: CN102445604A 公开(公告)日: 2012-05-09
发明(设计)人: 夏善红;杨鹏飞;彭春荣 申请(专利权)人: 中国科学院电子学研究所
主分类号: G01R29/12 分类号: G01R29/12
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明的一种异型电极微型电场传感器,涉及传感器技术,传感器敏感结构包括衬底、激励单元、屏蔽电极、电场感应电极、锚点等部分。其中,激励单元包括激励电极和支撑梁,对称布置在传感器敏感结构的两侧;屏蔽电极和电场感应电极交错排列,布置在传感器敏感结构中间位置区域。激励单元、屏蔽电极、电场感应电极、锚点等位于同一结构层。本发明的微型电场传感器通过采用异型结构的电场感应电极和屏蔽电极,增加了传感器中电场感应电极在单位时间内电荷的改变量,从而提高了微型电场传感器的灵敏度。
搜索关键词: 异型 电极 微型 电场 传感器
【主权项】:
一种异型电极微型电场传感器,包括传感器敏感单元、驱动电路单元(6)与信号检测电路单元(7);其特征在于,传感器敏感单元包括:衬底(1)、激励单元(2)、屏蔽电极(3)、电场感应电极(4)和锚点(5);其中,衬底(1)位于传感器敏感结构中间位置,屏蔽电极(3)和电场感应电极(4)组成的阵列固定在衬底(1)上表面,屏蔽电极(3)和电场感应电极(4)交替排列;至少两激励单元(2)固定在衬底(1)上表面,位于电极阵列周缘,分别对称布置在衬底(1)的两侧,并分别与屏蔽电极(3)电连接;多个锚点(5)固定在衬底(1)上表面,位于电极阵列周缘,分别两两对称布置在衬底(1)的另两侧,并分别与电场感应电极(4)电连接;使用时,至少两激励单元(2)分别与驱动电路单元(6)电连接,多个锚点(5)分别与信号检测电路单元(7)电连接。
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