[发明专利]异型电极微型电场传感器有效
申请号: | 201010504163.5 | 申请日: | 2010-09-30 |
公开(公告)号: | CN102445604A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 夏善红;杨鹏飞;彭春荣 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电子学研究所 |
主分类号: | G01R29/12 | 分类号: | G01R29/12 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明的一种异型电极微型电场传感器,涉及传感器技术,传感器敏感结构包括衬底、激励单元、屏蔽电极、电场感应电极、锚点等部分。其中,激励单元包括激励电极和支撑梁,对称布置在传感器敏感结构的两侧;屏蔽电极和电场感应电极交错排列,布置在传感器敏感结构中间位置区域。激励单元、屏蔽电极、电场感应电极、锚点等位于同一结构层。本发明的微型电场传感器通过采用异型结构的电场感应电极和屏蔽电极,增加了传感器中电场感应电极在单位时间内电荷的改变量,从而提高了微型电场传感器的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 异型 电极 微型 电场 传感器 | ||
【主权项】:
一种异型电极微型电场传感器,包括传感器敏感单元、驱动电路单元(6)与信号检测电路单元(7);其特征在于,传感器敏感单元包括:衬底(1)、激励单元(2)、屏蔽电极(3)、电场感应电极(4)和锚点(5);其中,衬底(1)位于传感器敏感结构中间位置,屏蔽电极(3)和电场感应电极(4)组成的阵列固定在衬底(1)上表面,屏蔽电极(3)和电场感应电极(4)交替排列;至少两激励单元(2)固定在衬底(1)上表面,位于电极阵列周缘,分别对称布置在衬底(1)的两侧,并分别与屏蔽电极(3)电连接;多个锚点(5)固定在衬底(1)上表面,位于电极阵列周缘,分别两两对称布置在衬底(1)的另两侧,并分别与电场感应电极(4)电连接;使用时,至少两激励单元(2)分别与驱动电路单元(6)电连接,多个锚点(5)分别与信号检测电路单元(7)电连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院电子学研究所,未经中国科学院电子学研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201010504163.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:浆砌石或干砌块石挡墙的绿化结构
- 下一篇:一种实用型分酒酒具