[发明专利]一种能实时补偿波前畸变的调焦调平系统及补偿方法无效

专利信息
申请号: 201010504775.4 申请日: 2010-10-12
公开(公告)号: CN102445863A 公开(公告)日: 2012-05-09
发明(设计)人: 卢丽荣;李志丹;徐兵;陈飞彪 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00
代理公司: 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人: 王光辉
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种能实时补偿波前畸变的调焦调平系统及补偿方法,该系统包括投影方和探测方,从投影方出射的光束经硅片面反射后由探测方的探测狭缝面成像,其特征在于,在探测狭缝面前方设置闭环波前补偿系统,该闭环系统包括波前传感器、波前控制器和波前校正器,光束到达波前传感器的光程与到达探测狭缝面的光程相同,光束进入波前校正器后,矫正后的光束分成两部分,其中的较大部分的光束成像在探测狭缝面上,较小部分的光束进入波前传感器,由波前传感器实时探测出波前误差,波前控制器根据波前传感器测得的误差信号,驱动波前校正器进行波前校正。
搜索关键词: 一种 实时 补偿 畸变 调焦 系统 方法
【主权项】:
一种调焦调平系统,该系统包括投影方和探测方,从投影方出射的光束经硅片面反射后由探测方的探测狭缝面成像,其特征在于,在探测狭缝面前方设置闭环波前补偿系统,该闭环系统包括:波前传感器:用于实时探测光束波前误差;波前控制器:用于对波前传感器提供的探测信号进行波前复原和产生控制信号;波前校正器:用于将波前控制器提供的控制信号转变为波前相位变化,以校正光波波前畸变;其中,光束到达波前传感器的光程与到达探测狭缝面的光程相同。
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