[发明专利]碱性蚀刻废液循环利用的方法无效
| 申请号： | 201010505221.6 | 申请日： | 2010-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102443805A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 江德馨 | 申请（专利权）人： | 江德馨 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;刘春生 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种碱性蚀刻废液循环利用的方法，包括下列步骤：取得碱性蚀刻废液；以酸性液体中和碱性蚀刻废液并形成混合液，其中混合液包括上清液及沉淀物，且混合液的pH值实质上介于5至6.5之间；分离上清液及沉淀物；以及调整上清液的成份及pH值，使上清液形成可再利用的碱性蚀刻液。 | ||
| 搜索关键词： | 碱性 蚀刻 废液 循环 利用 方法 | ||
【主权项】：
一种碱性蚀刻废液循环利用的方法，包括下列步骤：取得一碱性蚀刻废液；以一酸性液体中和该碱性蚀刻废液并形成一混合液，其中该混合液包括一上清液及一沉淀物，且该混合液的pH值介于5至6.5之间；分离该上清液及该沉淀物；以及调整该上清液的成份及pH值，使该上清液形成可再利用的一碱性蚀刻液。
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