[发明专利]采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法无效
| 申请号： | 201010505416.0 | 申请日： | 2010-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN101956160A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 吴镝;王申;林立;师玉军;岳风娟;都有为 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法，包括如下三个步骤：(1)处理金属，使金属原子进入气相；(2)降低进入气相的金属原子的动能；(3)将步骤(2)中获得的金属原子沉积在柔性物质表面，形成金属薄膜。本发明提供的采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法，操作简单，并能够在柔性物质表面形成清晰的柔性物质/金属界面，且金属原子基本不会扩散到柔性物质薄膜内，保证柔性物质分子不受破坏，能够使柔性物质保持完好的物理化学性质，成膜质量高，薄膜间内应力小。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 气体 散射 方式 柔性 物质 表面 镀金 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：(1)处理金属，使金属原子进入气相；(2)降低进入气相的金属原子的动能；(3)将步骤(2)中获得的金属原子沉积在柔性物质表面，形成金属薄膜。
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