[发明专利]一种加强镀膜光纤光栅的轴向伸缩效应的方法

摘要

一种加强镀膜光纤光栅的轴向伸缩效应的方法。该方法预先采用微加工技术在光纤光栅所在光纤的侧表面加工一种具有沟槽的微结构阵列，然后采用镀膜技术在拥有光栅和表面微结构的区域镀单层或多层敏感膜。该方法主要针对具有伸缩效应的敏感膜，可以有效加强镀有这种可伸缩的敏感膜的光纤光栅传感器的敏感度，例如镀有超磁致伸缩敏感膜，湿度敏感膜和气体敏感膜的光纤光栅传感器。经过本方法处理的光纤光栅，其轴向伸缩效应得到加强，传感灵敏度得以提高。属于光纤传感领域和微加工领域。

主权项

一种加强镀膜光纤光栅的轴向伸缩效应的方法，其特征在于，该方法是在光纤光栅表面沿裸光纤的径向方向加工微米级的沟槽状微结构阵列，其沟槽状微结构阵列表面位于光纤光栅所在位置的光纤的侧表面，且分散分布于光纤光栅的光纤侧表面，然后采用镀膜技术在拥有光栅和沟槽状微结构阵列表面的区域镀单层或多层可伸缩材料敏感膜。