[发明专利]溶胶-凝胶膜面激光清洗设备及其清洗方法

摘要

本发明涉及一种溶胶-凝胶膜面激光清洗设备及其清洗方法，属于光学材料和激光技术领域。该清洗设备包括脉冲激光器、劈板、透镜、二维移动平台、准直激光器、能量计、步进电机和计算机；样品置于分辨率为微米级的二维移动平台上，计算机通过电缆分别与脉冲激光器和步进电机连接，并且计算机控制脉冲激光器和步进电机，步进电机控制二维移动平台；脉冲激光器发出的脉冲激光经劈板后分成两束：探针光和主激光，探针光进入能量计，主激光经过透镜聚焦达到二维移动平台；准直激光器产生的准直光到达劈板后与主激光重合，通过准直光来断定主激光的位置。本发明具有清洗效率高、不留死角、不破坏膜面、不带来二次污染、可延长镀膜元件使用寿命等优点。

主权项

一种溶胶‑凝胶膜面激光清洗设备，包括脉冲激光器、劈板、透镜、二维移动平台、准直激光器、能量计、步进电机和计算机；其特征在于：样品置于二维移动平台上，计算机通过电缆分别与脉冲激光器和步进电机连接，并且计算机控制脉冲激光器和步进电机，步进电机控制二维移动平台；脉冲激光器发出的脉冲激光经劈板后分成两束，一束进入能量计，用于监测清洗光源的能量，另一束经过透镜聚焦达到二维移动平台作为清洗光源；准直激光器产生的准直光到达劈板后与主激光的光路重合，在清洗过程中通过准直光来断定主激光的位置；二维移动平台的分辨率为微米级，以保证扫描过程中相邻等离子体冲击波与膜平面截面积的重叠率达50％以上；单个冲击波与膜平面的截面积等效于脉冲激光器触发单发脉冲致膜面清洗的面积。