[发明专利]OH自由基标准气体发生系统无效
| 申请号： | 201010508526.2 | 申请日： | 2010-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN101995451A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 司福祺;阚瑞峰;秦敏;谢品华;刘宇;胡仁志;刘文清 | 申请（专利权）人： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OH自由基标准气体发生系统，包括有合成空气源、与合成空气源连通的干燥净化器，合成空气为按一定比例混合的高纯氮和高纯氧，还包括有石英管，石英管中有低压汞灯，露点湿度计、O3分析仪通过管道分别接入石英管的出气口，一路输出合成气体的管路中间接入有质量流量计，另一路输出合成气体的管路中间依次接入有另一质量流量计、水蒸气发生器。 | ||
| 搜索关键词： | oh 自由基 标准 气体 发生 系统 | ||
【主权项】：
OH自由基标准气体发生系统，其特征在于：包括有合成空气源、与合成空气源连通的干燥净化器，所述合成空气源中的合成空气为按一定比例混合的高纯氮和高纯氧，所述合成气体经干燥净化器后通过两路管路输出，还包括有带进、出气口的石英管，所述石英管中安装有低压汞灯，有露点湿度计、O3分析仪通过管道分别接入石英管的出气口，所述输出合成气体的两路管路分别接至石英管进气口，其中一路管路中间接入有质量流量计，另一路管路中间依次接入有另一质量流量计、水蒸气发生器。
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