[发明专利]PVD假片的回收方法有效
| 申请号： | 201010509219.6 | 申请日： | 2010-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN102443769A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 梁欣;李冠欣;陈志新;崔晓娟 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/16;C23F1/20;C23F1/12;C23C16/40 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及PVD假片的回收方法。本发明提供的PVD假片的回收方法包括如下步骤：将表面沉积一层铝合金膜的PVD假片浸入96-97％的H2SO4与30-32％的H2O2按20∶1-5体积比混合的混合液中，70℃-110℃条件下，浸泡2-3小时，浸入2％-49％的HF中以去除氧化层。利用本发明所提供的PVD假片回收方法，对表面沉积一层铝合金膜的PVD假片进行回收的产物可以继续作为PVD假片使用，大大降低了晶圆代工生产的成本。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 回收 方法 | ||
【主权项】：
PVD假片的回收方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤1.将表面沉积一层铝合金膜的PVD假片浸入具有96‑97％的H2SO4与30‑32％的H2O2按20∶1‑5体积比混合的混合液相当的H2SO4与H2O2终浓度的液体中，70℃‑110℃条件下，浸泡2‑3小时，得圆片1；步骤2.将圆片1浸入2％‑49％的HF中以去除氧化层，得圆片2。
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