[发明专利]基板载置台的温度控制系统及其温度控制方法

摘要

本发明提供一种能够使基板的温度快速上升、并且能够减少热能的损失的基板载置台的温度控制系统。基座的制冷剂循环系统包括制冷剂供给装置、高温介质储存罐和第一阀组，该基座内置有加热器单元和热介质流路、且载置被实施等离子蚀刻处理的晶圆，上述制冷剂供给装置与热介质流路相连接而将温度比较低的制冷剂供给到热介质流路中，上述高温介质储存罐配置在热介质流路与制冷剂供给装置之间且用于储存温度比较高的高温介质，上述第一阀组配置在制冷剂供给装置与热介质流路之间、以及高温介质储存罐与热介质流路之间，在使基座的温度上升时，利用该第一阀组停止自制冷剂供给装置向热介质流路供给制冷剂、且自高温介质储存罐向热介质流路供给高温介质。

主权项

一种基板载置台的温度控制系统，该基板载置台用于载置被实施规定处理的基板且内置有加热单元和热介质流路，其特征在于，该温度控制系统包括：热介质供给装置，其与上述热介质流路相连接而将第一温度的第一热介质供给到上述热介质流路中；热介质储存装置，其配置在上述热介质流路与上述热介质供给装置之间，用于储存温度比上述第一温度高的第二温度的第二热介质；热介质供给控制装置，其配置在上述热介质供给装置与上述热介质流路之间、以及上述热介质储存装置与上述热介质流路之间，该热介质供给控制装置进行如下控制：在上述加热单元发热时，停止自上述热介质供给控制装置向上述热介质流路供给上述第一热介质、且自上述热介质储存装置向上述热介质流路供给上述第二热介质。