[发明专利]图案形成方法有效
| 申请号： | 201010510475.7 | 申请日： | 2010-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN101982807A | 公开（公告）日： | 2011-03-02 |
| 发明（设计）人： | 田中启顺;渡边保;渡邉聪 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/40;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种图案形成方法。一种化学放大型抗蚀剂组合物，它包括基础树脂、产酸剂和溶剂。每100pbw的基础树脂存在1400-5000pbw的溶剂，且上述溶剂含有至少60wt％的PGMEA和乳酸乙酯以及0.2-20wt％的高沸点溶剂。通过在基材上涂敷抗蚀剂组合物、预烘烤、图案形式曝光、曝光后烘烤、显影和热处理来形成抗蚀剂图案。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种形成图案的方法，其包括以下步骤：在可加工的基材上涂覆化学放大型抗蚀剂组合物，预烘烤涂层以移除其中的任何过量溶剂以形成抗蚀剂膜，通过高能辐射使抗蚀剂膜按图案形式曝光，任选进行曝光后烘烤，使用显影剂对曝光的抗蚀剂膜显影和热处理，以形成抗蚀剂图案，所述的化学放大型抗蚀剂组合物包括基础树脂、产酸剂和溶剂，其中当被高能辐射曝光时，在产酸剂产生的酸的作用下，上述组合物的抗蚀剂膜改变其在显影剂中的溶解性，以每100重量份基础树脂计，存在的溶剂总量为1400‑5000重量份，所述溶剂包括丙二醇单甲醚醋酸酯(PGMEA)和乳酸乙酯，它们的总量占溶剂总重量的至少60wt％，所述溶剂进一步包括至少一种选自由γ‑丁内酯、烷基乙酰醋酸酯、二丙二醇甲醚醋酸酯、二丙二醇丁基醚、三丙二醇丁基醚、碳酸亚乙酯和碳酸亚丙酯组成的组中的溶剂，其比例为溶剂总重量的0.2wt‑20wt％。
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