[发明专利]一种并联压电微动平台

摘要

本发明公开了一种并联压电微动平台，包括台体和动平台，特点是台体与动平台之间的四个直角上一体设置有弹性变形体，弹性变形体由两个相对设置且半径与弧长均相等、外凸内凹的圆弧形弹性薄板组成，圆弧形弹性薄板的两端分别与台体的内直角处、动平台的外直角处一体连接，动平台的至少一个侧面上设置有至少一个导向铰链，导向铰链与其正对的台体的内侧面之间固定设置有压电陶瓷执行器，导向铰链的横截面与压电陶瓷执行器的横截面重合；优点是不仅可以实现平动微位移，也可以实现转动微位移，因而可方便地实现一维、二维与三维微位移；整体刚度大，固有频率高；位移传感器的安装不受限制。

主权项

一种并联压电微动平台，包括台体和动平台，所述的动平台设置在所述的台体内，其特征在于所述的台体与所述的动平台之间的四个直角上一体设置有弹性变形体，所述的弹性变形体由两个相对设置且半径与弧长均相等、外凸内凹的圆弧形弹性薄板组成，所述的圆弧形弹性薄板的两端分别与所述的台体的内直角处、所述的动平台的外直角处一体连接，所述的动平台的至少一个侧面上设置有至少一个导向铰链，所述的导向铰链与其正对的所述的台体的内侧面之间固定设置有压电陶瓷执行器，所述的导向铰链的横截面与所述的压电陶瓷执行器的横截面重合。