[发明专利]金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法无效
| 申请号： | 201010514077.2 | 申请日： | 2010-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102031484A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 魏同波;王军喜;路红喜;刘乃鑫;曾一平;李晋闽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/58;C23F1/26;C23F1/30;C23C16/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法，包括如下步骤：步骤1：用溅射或者蒸发的方法在p型氮化物样品表面沉积一层金属薄层；步骤2：对沉积金属薄层的p型氮化物进行退火；步骤3：用酸溶液去除p型氮化物样品表面的金属薄层；步骤4：用去离子水对去除了金属薄层的p型氮化物样品表面清洗干净。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 催化 脱氢 提高 掺杂 氮化物 激活 效率 方法 | ||
【主权项】：
一种金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法，包括如下步骤：步骤1：用溅射或者蒸发的方法在p型氮化物样品表面沉积一层金属薄层；步骤2：对沉积金属薄层的p型氮化物进行退火；步骤3：用酸溶液去除p型氮化物样品表面的金属薄层；步骤4：用去离子水对去除了金属薄层的p型氮化物样品表面清洗干净。
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