[发明专利]一种离子源自动稳弧流的方法有效
| 申请号： | 201010514201.5 | 申请日： | 2010-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102445901A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;孙勇;林萍;彭立波 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/02 | 分类号： | G05B13/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子源自动稳弧流的方法，离子源装置包括阴极(1)灯丝(2)、弧室(3)、弧压电源(4)、灯丝电源(5)、偏置电源(6)。自动稳弧流的方法就是通过检测弧压电源(4)的负载电流——弧流的变化，用PID控制器来控制影响阴极发射电子的灯丝电源(5)的负载电流——灯丝电流，达到稳定弧流的目的。在灯丝电源(5)和弧压电源(4)之间形成一闭环控制，从而使弧流自动稳定，不需要人工或主控计算机干预。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 自动 稳弧流 方法 | ||
【主权项】：
一种离子源自动稳弧流的方法就是通过检测离子源弧压电源(4)负载电流——弧流的变化来控制影响阴极发射电子的灯丝电源(5)的负载电流——灯丝电流，实现弧流的自动稳定。
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