[发明专利]无背极板的MEMS电容式麦克风及其制备方法无效
| 申请号： | 201010514414.8 | 申请日： | 2010-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN102457800A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 杨少军 | 申请（专利权）人： | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;许淑芳 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无背极板的MEMS电容式麦克风及其制备方法，其中该MEMS电容式麦克风包括：衬底、背腔、电容的第一极板和第二极板、振动膜和引线，其中，背腔位于衬底上；振动膜设置在衬底上，用于检测声音振动并转换为位移；第一极板设置在衬底上；第二极板设置在振动膜上，其中第二极板上设置有用于防止第一极板和第二极板吸合的突起；引线用于将第一极板和第二极板引出形成电学连接。 | ||
| 搜索关键词： | 极板 mems 电容 麦克风 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种无背极板的MEMS电容式麦克风，其特征在于，包括：衬底、背腔、电容的第一极板和第二极板、振动膜和引线，其中所述背腔位于所述衬底上；所述振动膜设置在所述衬底上，用于检测声音振动并转换为位移；所述第一极板设置在所述衬底上；所述第二极板设置在所述振动膜上，其中所述第二极板上设置有用于防止所述第一极板和所述第二极板吸合的突起；所述引线用于将所述第一极板和所述第二极板引出。
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