[发明专利]声表面波测量传感器及参数分析方法

摘要

本发明涉及一种声表面波测量传感器及参数分析方法，该传感器包括：压电基底、叉指换能器及反射器；压电基底，用于感应待测物理量；叉指换能器与反射器经过表面微加工工艺沉积在压电基底上表面；叉指换能器经和它相连接的天线接收声表面波传感器工作所需驱动能量，并通过天线返回射频脉冲回波信号；反射器，用于产生射频脉冲回波信号。与现有的传感器相比，本发明具有以下技术特点：能够在保证一定信号强度的前提下，保证大范围和高精度对物理量进行检测；解决了现有技术中声表面波传感器在测量信号的范围和精度上只能满足其中一项指标，不可以兼顾的问题；结构简单；通过一定参数分析方法使得被测量的物理量产生相应反馈信号，解决了传感器大范围精确检测物理量的问题。

主权项

一种声表面波测量传感器，其特征在于：包括：压电基底、叉指换能器、天线及反射器；所述的压电基底，用于感应待测物理量；所述的叉指换能器与所述的反射器经过表面微加工工艺沉积在所述的压电基底上表面；所述的叉指换能器接收声表面波传感器工作所需驱动能量，并通过天线返回射频脉冲回波信号；所述的反射器，用于反射在所述的压电基底上传输的声表面波从而产生射频脉冲回波信号。