[发明专利]纳(微)米球膜新型装置及边界自动修整技术无效
| 申请号： | 201010515665.8 | 申请日： | 2010-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102452637A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 杜晓阳;张玉彦 | 申请（专利权）人： | 杜晓阳;张玉彦 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100855 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明为一种纳米球膜铺置及边界自动修整技术，尤其是适合于平面基底材料上制备浮雕结构的微电子加工技术领域。利用一种漏斗型装置，将纳米球在水面上自由均匀排列后，通过漏斗内壁特性曲线缩减球膜面积到完全单层铺排，然后完整地铺排至芯片表面。 | ||
| 搜索关键词： | 米球膜 新型 装置 边界 自动 修整 技术 | ||
【主权项】：
一种纳(微)米球膜铺置的装置，包括漏斗、精密注排水水槽、晶片座、最终紧密铺排液面、斜面固定架、聚合物(PS)纳米球膜，其特征在于：将聚合物(PS)纳米球在溶剂界面上自由均匀排列后，通过漏斗内壁特性曲线缩减PS球膜面积到完全单层铺排，然后完整地铺排至芯片表面。
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