[发明专利]用于以干涉测量方式对物体进行振动测量的设备和方法无效
| 申请号： | 201010517465.6 | 申请日： | 2010-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN102042866A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | C·伦贝;A·德雷本施泰特;M·加特纳;M·赫贝里希;A·莱昂哈特 | 申请（专利权）人： | 综合工艺有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G02B27/10 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 德国瓦*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于以干涉测量方式对物体进行振动测量的设备，所述设备包括射束源、第一分束器、检测器以及调焦装置，其中，所述设备使得由物体至少部分反射的测量射束与基准射束在检测器的检测面上叠加，而调焦装置布置在测量射束的射束路径中用以使测量射束聚焦到物体的测量点上，重要的是，该设备能产生波长大于1100nm的测量射束，设备还包括像单元用于对物体的围绕测量点的至少一个局部区域进行平面成像，其中，调焦装置在像单元与物体之间的射束路径中，测量射束的焦点大致位于像单元的焦平面内，借助调焦装置能使测量射束的焦点和像单元的焦平面同步移动。本发明还涉及借助本发明设备、用于以干涉测量方式对物体进行振动测量的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 干涉 测量 方式 物体 进行 振动 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于以干涉测量方式对物体(8)进行振动测量的设备，所述设备包括用于产生原始射束的射束源(1)、用于将所述原始射束分成测量射束和基准射束(5)的第一分束器(3)、检测器以及调焦装置(9)，其中，所述设备实施成使得由所述物体(8)至少部分反射的测量射束(4)与基准射束(5)在所述检测器(10)的检测面上叠加，而所述调焦装置(9)布置在所述测量射束的射束路径中用以使所述测量射束聚焦到所述物体(8)的测量点(7)上，所述设备的特征在于，借助所述设备能够产生波长大于1100nm的测量射束，所述设备附加地包括像单元(12)，所述像单元用于对所述物体的围绕所述测量点(7)的至少一个局部区域进行平面成像，另外满足，所述调焦装置(9)布置在所述像单元(12)与所述物体(8)之间的射束路径中，所述测量射束的焦点大致位于像单元(12)的焦平面内，借助所述调焦装置(9)能使所述测量射束的焦点和所述像单元(12)的焦平面同步地移动。
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