[发明专利]芯片信息去除方法有效

专利信息
申请号: 201010518519.0 申请日: 2010-10-19
公开(公告)号: CN102456544A 公开(公告)日: 2012-05-16
发明(设计)人: 刘小平;黄红伟;吴显欣 申请(专利权)人: 上海宏力半导体制造有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种芯片信息去除方法,包括:将待处理芯片进行机械切碎,使整片芯片成为大量碎片;将碎片放入化学溶液中进行浸泡,去除芯片上的信息。本发明首先将整片芯片采用机械切碎形成大量碎片以后,再将碎片放入化学溶液中进行浸泡,彻底去除芯片上的有效信息,防止芯片上的信息泄露。所述芯片包括硅衬底,依次位于硅衬底上的晶体管器件区、钝化层及金属焊盘区,通过采用第一化学溶液、第二化学溶液及第三化学溶液分别对金属焊盘区及钝化层、晶体管器件区及硅衬底表面进行腐蚀,对相应位置上携带的信息进行去除,防止芯片上的信息泄露。
搜索关键词: 芯片 信息 去除 方法
【主权项】:
一种芯片信息去除方法,其特征在于,包括:提供待处理的作废芯片,将所述芯片进行机械切碎,使整片芯片成为若干碎片;将碎片放入化学溶液中进行浸泡,去除芯片上的信息。
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