[发明专利]基于双频激光干涉的二维测量装置

摘要

基于双频激光干涉的二维测量装置，包括反射率为50％的分光镜、x向测量模块、y向测量模块，x向平面反射镜和y向平面反射镜。激光束通过50％分光镜分成两束，对x、y两个方向的位移进行测量。每束光会通过偏振分光棱镜分为P光和S光，P光作为参考光，由角锥棱镜返回；S光做为测量光，由被测量平面镜反射，经1/4波片，其偏振方向转90°，因而会透过偏振分光棱镜的分光面，而被角锥棱镜反射并再次透过偏振分光棱镜的分光面，由被测量平面镜反射，经1/4波片，其偏振方向再次转90°，经偏振分光棱镜的分光面反射返回，测量光与参考光产生干涉，干涉信号被光电接收器所接收，从而得到x、y方向的被测位移。

主权项

基于双频激光干涉的二维测量装置，其特征在于：包括双频激光头(6)以及位于双频激光头(6)出射光光路中反射率为50％的分光镜(1)，在该分光镜(1)的反射光路及透射光路中分别设置有x向测量模块和y向测量模块，在x向测量模块和y向测量模块的测量光路中分别设置有x向平面反射镜(5)和y向平面反射镜(3)；所说的y向测量模块包括y向偏振分光棱镜(2c)，在y向偏振分光棱镜(2c)透射光路中设置有y向透射角锥棱镜(2d)，在y向偏振分光棱镜(2c)反射光路的后端设置有y向角锥棱镜(2b)，在y向偏振分光棱镜(2c)的反射光路中依次设置有y向1/4波片(2e)和y向平面反射镜(3)，在y向偏振分光棱镜(2c)与y向透射角锥棱镜(2d)相对的一侧设置有y向光电接收器(2a)；所说的x向测量模块包括x向偏振分光棱镜(4c)，在x向偏振分光棱镜(4c)透射光路中设置有x向透射角锥棱镜(4d)，在x向偏振分光棱镜(4c)反射光路的后端设置有x向角锥棱镜(4b)，在x向偏振分光棱镜(4c)的反射光路中依次设置有x向1/4波片(4e)和x向平面反射镜(5)，在x向偏振分光棱镜(4c)与x向透射角锥棱镜(4d)相对的一侧设置有x向光电接收器(4a)。