[发明专利]一种钛靶材及其制造方法无效
| 申请号： | 201010522875.X | 申请日： | 2010-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102453873A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 张金波;郑杰 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市嘉诚稀有金属材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/02;C22C14/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 涂秀清 |
| 地址： | 721013 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于真空溅射镀膜的钛靶材及其制造方法，钛靶材含有Au、Cu，按质量百分比计合金组成为：0.03％＞Au＞0.01％、0.1％＞Cu＞0.07％，Fe＜0.05％、0＜0.04％、N＜0.015％，余量为Ti。其制造方法是采用粒度在-300目至-400目的AuCu20合金粉未和1/2英寸的小规格海绵钛种钛混合后，采用电子轰击炉进行电子束冷床熔炼提纯后制成钛锭，通过机械加工方法将钛锭制成所需规格尺寸的钛靶材，采用本发明的钛靶材所制成的镀膜颜色呈金黄色，且比常规镀膜具有耐磨性强、附着力强的特点，从而取得较强的市场竞争力和良好经济效益的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛靶材 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钛靶材，其特征在于：钛靶材含有Au、Cu，按质量百分比计合金组成为：0.03％＞Au＞0.01％、0.1％＞Cu＞0.07％，Fe＜0.05％、0＜0.04％、N＜0.015％，余量为Ti。
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