[发明专利]一种连续化生产超纯氨水的方法有效
| 申请号： | 201010523016.2 | 申请日： | 2010-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN102452671A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 詹家荣;周励 | 申请（专利权）人： | 上海华谊微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 200940*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种连续化超纯氨水的生产方法，首先将工业级液氨进行两次加热蒸发，冷却后通过超纯水清洗和超纯水吸收，最后微孔膜过滤，制得的超纯氨水主体含量为28%~30%，单一金属离子含量小于100ppt，大于0.5μm的颗粒含量小于25个/毫升。本发明操作简单，能耗低，产品纯度高且质量稳定，可以实现连续化大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 化生 产超纯 氨水 方法 | ||
【主权项】：
一种连续化生产超纯氨水的方法，其特征在于，步骤如下：步骤1，将99%纯度的工业级液氨输送至加热塔，在30~40℃温度下加热蒸发；冷却后，在40~50℃温度下进行第二次加热蒸发，然后冷却；步骤2，将第二次冷却后的氨气输送至盛装有超纯水的清洗塔，氨水达到饱和后继续输送氨气，通过超纯水清洗后的氨气从清洗塔超纯水中释放出来；步骤3，用超纯水吸收清洗塔中释放出的氨气得到氨水；步骤4，用微孔膜将步骤3中所得氨水进行过滤，收集滤液得到超纯氨水。
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