[发明专利]一种测量极小气体流量的装置在审
| 申请号： | 201010523076.4 | 申请日： | 2010-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN101995277A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 李得天;成永军;冯焱;郭美如;徐婕 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 张利萍;郭德忠 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量极小气体流量的装置，包括气瓶、微调阀、稳压室、四个阀门、吸气剂泵、分子泵、前级泵、电容薄膜规、磁悬浮转子规以及小孔，其中：气瓶通过微调阀与稳压室连接，小孔与阀门二并联后一端通过阀门一和稳压室相连，一端和真空系统相连，吸气剂泵通过阀门三和稳压室相连，前级泵和分子泵串连后通过阀门四和稳压室连接，电容薄膜规和磁悬浮转子规直接连接在稳压室的器壁上。本发明采用吸气剂泵对稳压室及其真空管道进行抽气，完全避免了稳压室及管道内壁放气引起的测量不确定度，保证了测量下限的有效延伸，使得流量值小于1×10-8Pa.m3/s的极小气体流量能够精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 极小 气体 流量 装置 | ||
【主权项】：
一种测量极小气体流量的装置，包括气瓶(1)、微调阀(2)、稳压室(3)、四个阀门、吸气剂泵(7)、分子泵(9)、前级泵(10)、电容薄膜规(11)、磁悬浮转子规(12)以及小孔(13)，其特征在于：气瓶(1)通过微调阀(2)与稳压室(3)连接，小孔(13)与阀门二(5)并联后一端通过阀门一(4)和稳压室(3)相连，一端和真空系统相连，吸气剂泵(7)通过阀门三(6)和稳压室(3)相连，前级泵(10)和分子泵(9)串连后通过阀门四(8)和稳压室(3)连接，电容薄膜规(11)和磁悬浮转子规(12)直接连接在稳压室(3)的器壁上。
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