[发明专利]一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量装置有效
| 申请号： | 201010523143.2 | 申请日： | 2010-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102052940A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李得天;成永军;冯焱;徐婕;郭美如 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号： | G01F1/34 | 分类号： | G01F1/34;G01F1/50 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 张利萍;郭德忠 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量装置，包括前级压力测量系统、阀门一、气体压力衰减系统、阀门二、校准室、阀门三、小孔、阀门四、阀门五、吸气剂泵、阀门六、分子泵、前级泵及电离规组成，前级压力测量系统通过阀门一与气体压力衰减系统连接，气体压力衰减系统通过阀门二与校准室连接，小孔与阀门四并联后一端通过阀门三和校准室相连，一端和真空系统相连，吸气剂泵通过阀门五和校准室相连，前级泵和分子泵串连后通过阀门六和校准室连接，电离规直接连接在校准室上。本发明用静态膨胀法真空标准产生的气体压力代替固定流导法气体流量计的充入气体压力，从而进一步提高气体流量的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 静态 膨胀 真空 标准 极小 气体 流量 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量装置，包括前级压力测量系统(1)、阀门一(2)、气体压力衰减系统(3)、阀门二(4)、校准室(5)、阀门三(6)、小孔(7)、阀门四(8)、阀门五(9)、吸气剂泵(10)、阀门六(11)、分子泵(12)、前级泵(13)及电离规(14)，其特征在于：前级压力测量系统(1)通过阀门一(2)与气体压力衰减系统(3)连接，气体压力衰减系统(3)通过阀门二(4)与校准室(5)连接，小孔(7)与阀门四(8)并联后一端通过阀门三(6)和校准室(5)相连，一端和真空系统相连，吸气剂泵(10)通过阀门五(9)和校准室(5)相连，前级泵(13)和分子泵(12)串连后通过阀门六(11)和校准室(5)连接，电离规(14)直接连接在校准室(5)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所，未经中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010523143.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
