[发明专利]单片集成的多波长差分正交相移键控解调器及其制作方法无效
申请号: | 201010524410.8 | 申请日: | 2010-10-29 |
公开(公告)号: | CN101980460A | 公开(公告)日: | 2011-02-23 |
发明(设计)人: | 周天宏;官成钢;岳玉环;马卫东;吴凡;陈强;柯滔;袁晨 | 申请(专利权)人: | 武汉光迅科技股份有限公司 |
主分类号: | H04B10/12 | 分类号: | H04B10/12;H04L27/20;G02B6/12;G02F2/00 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 杜文茹 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种单片集成的多波长差分正交相移键控解调器及其制作方法,该解调器有一个1×D波分解复用器和D个DQPSK解调器,波分解复用器和D个DQPSK解调器集成在同一波导基底上构成波导结构芯片。方法是将一个波分解复用器AWG及多个具有延时线干涉仪的多波长光学DQPSK解调器采用平面光波导技术单片集成在同一波导基底上;在波导结构芯片制作好后,通过光刻、溅射、剥离半导体工艺在构成DQPSK解调器的每个光延迟线干涉仪的两臂之一上制作金属薄膜微型加热器,实现相位控制;在芯片基底上粘接热电致冷器来控制整个芯片的温度;分别将金属薄膜微型加热器和TEC与来自控制反馈环路的误差信号相连。本发明成本低、工艺简单,便于批量生产。 | ||
搜索关键词: | 单片 集成 波长 正交 相移 键控 解调器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种单片集成的多波长差分正交相移键控解调器,包括有一个1×D波分解复用器(A)和D个DQPSK解调器(B),其特征在于,所述的波分解复用器(A)和D个DQPSK解调器(B)集成在同一波导基底(C)上构成波导结构芯片。
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