[发明专利]一种多晶硅生产过程中副产物的再利用方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产过程中副产物的再利用方法，以多晶硅副产物为原料，通过采用不同的储能物质，制备不同温度的系列相变储能材料，将气化的副产物在常温下与聚乙二醇水溶液中的水发生水解反应，溶胶-凝胶反应，生成氯化氢和三维网络结构的二氧化硅凝胶，包覆有相变储能材料的二氧化硅凝胶经旋风干燥器烘干后制得相变储能材料产品，氯化氢经盐酸溶液氯化钙提浓解析和四氯化硅淋洗塔除水，制得含水量小于0.05%的氯化氢，直接进入多晶硅生产系统用于制备三氯氢硅，与四氯化硅氢化技术配套使用，形成多晶硅生产物料的全闭路循环和副产物的全资源化，实现多晶硅生产的“固废和废气”的趋零排放和清洁生产。

主权项

一种多晶硅生产过程中副产物的再利用方法，其特征在于：将多晶硅生产过程中产生的副产物和相变储能材料水溶液或水乳液通过喷嘴直接进入旋风分离反应器，在旋风分离反应器中充分混合，并发生水解和溶胶‑凝胶反应，生成三维网络结构的包覆有相变储能物质的二氧化硅凝胶和氯化氢气体；包覆有相变储能物质的二氧化硅凝胶在离心力和重力作用下，从旋风分离反应器底部排出，排出后经干燥脱水和脱氯化氢制得定形性相变储能材料产品；氯化氢气体在旋风分离反应器倒圆锥状内壁的反射作用下，螺旋向上，从旋风分离反应器的顶部排出，实现分离，分离出的氯化氢气体经盐酸溶液氯化钙提浓解析和四氯化硅淋洗塔除水后，直接作为生产三氯氢硅的原料进入多晶硅的生产体系。