[发明专利]OLED制备过程中的丝网型蒸发源及蒸发方法无效
| 申请号： | 201010525440.0 | 申请日： | 2010-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102021517A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 牟强;王秀峰 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | OLED制备过程中的丝网型蒸发源及蒸发方法，包括真空室以及置于真空室内自上而下依次设置的热源、金属丝网坩埚、掩膜版和基板，有机或金属材料置于金属丝网坩埚中或其上，掩膜版紧贴在基板上。热源对金属丝网坩埚中的有机或金属材料加热，产生向下的蒸发过程，经掩膜版在基板上形成所需图形。本发明与传统方式相比，特别是在大尺寸有机器件(如OLED彩色电视)制备过程中，由于掩膜版紧贴基板且置于基板之上，不易产生形变，可有效提高产品良率。本技术与激光转印技术相比成本较低，且现有真空技术完全可以实现。 | ||
| 搜索关键词： | oled 制备 过程 中的 丝网 蒸发 方法 | ||
【主权项】：
一种OLED制备过程中的丝网型蒸发源，其特征在于：包括真空室以及置于真空室内自上而下依次设置的热源(1)、金属丝网坩埚(3)、掩膜版(4)和基板(5)，有机或金属材料(2)置于金属丝网坩埚(3)中或其上，掩膜版(4)紧贴在基板(5)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西科技大学，未经陕西科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010525440.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带交变电场的高效复合油烟净化器
- 下一篇：一种炉灶燃气燃烧器
- 同类专利
- 专利分类
