[发明专利]一种基于石墨烯的纳米尺度点光源阵列

摘要

本发明提供了一种基于石墨烯的纳米尺度点光源的阵列，属于纳米尺度的发光装置。该点光源的阵列包括一衬底，在衬底上覆盖有一绝缘介质层、金属互连线埋于该介质层中，介质层上方为金属电极阵列，金属互连线连接金属电极阵列中的每个电极，在金属电极阵列上铺设一层石墨烯薄膜，在金属电极和石墨烯薄膜上施加一偏置电压；或者在金属电极阵列中两相邻电极上铺设一层石墨烯薄膜，在此相邻电极对之间施加一偏置电压。本发明制造工艺可与硅基加工技术兼容、集成度高，能大幅提高光源辐照范围和光强，可以作为显示阵列或者存储单元阵列，应用于高分辨率显示装置或信息存储系统。

主权项

一种纳米尺度点光源阵列，其特征在于，包括一衬底，在衬底上覆盖有一绝缘介质层、金属互连线埋设于该介质层中，介质层上方为金属电极阵列，金属互连线连接金属电极阵列中的每个电极，在金属电极阵列上铺设一层石墨烯薄膜，金属电极阵列中每个电极和石墨烯薄膜构成一点光源单元，在金属电极和石墨烯薄膜上施加一偏置电压。