[发明专利]一种金刚石晶圆及其生产方法有效
| 申请号： | 201010526930.2 | 申请日： | 2010-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102034854A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 赵仁玉;汪静 | 申请（专利权）人： | 河南省联合磨料磨具有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/12 | 分类号： | H01L29/12;H01L21/02 |
| 代理公司： | 郑州大通专利商标代理有限公司 41111 | 代理人： | 张爱军 |
| 地址： | 450016 河南省郑州*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金刚石晶圆及其生产方法。金刚石晶圆中非金刚石物质含量占金刚石晶圆总质量的0.05~15%。生产方法为：先用有机物对金刚石磨料进行表面包覆处理，将处理后的金刚石磨料平铺在模具中，表面用金属催化剂覆盖后压紧，放入真空炉中，在400~1000℃热处理2~10h，将模具装入叶蜡石合成块中，经六面顶压机在6~8GPa、1400~2000℃下处理1~10h，停热卸压后取出模具，用王水除去模具和表面的金属催化剂，即得到金刚石晶圆。该产品质量稳定，设备投入较低，成本低廉，晶圆尺寸较大，热导率达到10-12W/(cm.K)，可作为高性能的散热材料；还可用于太阳能光伏电池基材和半导体芯片，应用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种金刚石晶圆，其特征是：所述金刚石晶圆中非金刚石物质的含量占金刚石晶圆总质量的0.05~15%。
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