[发明专利]一种抛光盘

摘要

本发明涉及化学机械抛光技术领域，一种抛光盘，其表面是由相互独立的籽粒块状结构排布形态，相互独立的籽粒块分为相对较硬上层块和相对较软下层块所组成。该籽粒块固结在一个底层上。抛光盘表面工作层是由具有向日葵籽粒排列结构的块状凸起所组成，抛光盘表面仿生排布应形成具有逆时针和顺时针的斜列线沟槽；聚氨酯籽粒块层是由PU树脂、环氧活性稀释剂、固化剂和磨料的质量比例为100∶100-150∶100-300∶200-280。软块层和硬块层的硬度控制由由硫化处理来控制，软层硫化为100℃，硬层硫化为85℃，所述的硫化温度温度不超过150℃-160℃，时间约为3-5小时。

主权项

一种抛光盘，其特征在于：抛光盘表面工作层是由具有向日葵籽粒排列结构的块状凸起所组成，抛光盘表面仿生排布应形成具有逆时针和顺时针的斜列线沟槽；聚氨酯籽粒块层是由PU树脂、环氧活性稀释剂、固化剂和磨料的质量比例为100∶100‑150∶100‑300∶200‑280。软块层和硬块层的硬度控制由由硫化处理来控制，软层硫化为100℃，硬层硫化为85℃，所述的硫化温度温度不超过150℃‑160℃，时间约为3‑5小时。