[发明专利]粒子光学组件

摘要

本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。

主权项

一种带电粒子束系统，该带电粒子束系统包括：带电粒子源，该带电粒子源用于生成带电粒子束；至少一个射束整形透镜，该射束整形透镜被所述带电粒子穿越；以及物镜，该物镜被所述带电粒子穿越，其中，所述物镜具有中心轴和与该中心轴相关联的物面，其中，在所述物面的带电粒子入射的每一个位置处，平均入射方向可以被定义为带电粒子入射在相应位置处所遵循的全部方向的平均；其中，所述至少一个射束整形透镜和所述物镜被设置成，使得在所述物面的包围所述中心轴的环状构形内部部分内的平均入射方向远离所述中心轴取向，并且使得在所述物面的包围所述环状构形内部部分的环状构形外部部分内的平均入射方向朝向所述中心轴取向。