[发明专利]一种光学元件重力变形的补偿装置

摘要

一种光学元件重力变形的补偿装置，涉及光学元件重力变形的补偿装置，它解决了现有的光学元件面形精度重力补偿性能差，实现难度大的问题，该装置包括镜筒单元组件，用于固定该组件的盘式镜框及微测力传感器；用于精密调整的调节螺钉；作为调整装置基座的镜筒单元；用于装调控制的A/D信号转换装置，单片机根据微测力传感器实时检测到的力学量发出反馈调节信号，进而通过控制精密装调平台来实现调节螺钉的径向力大小，最终实现镜筒单元组件在重力方向上的面形补偿。本发明采用的重力补偿装置使用径向调节力产生的弯矩来补偿重力产生的弯矩，最终起到面形补偿的效果，具有实时可控的优点，本发明装置广泛适用于投影光刻物镜装配过程中。

主权项

一种光学元件重力变形的补偿装置，包括镜筒单元组件(1)、A/D信号转换装置(2)、单片机(3)、D/A信号转换装置(4)和精密调整平台(5)；所述镜筒单元组件(1)输出信号至A/D信号转换装置(2)，A/D信号转换装置(2)将信号传送至单片机(3)，所述单片机(3)将处理后的信号传送至D/A信号转换装置(4)，D/A信号转换装置(4)将信号传送至精密装调平台；其特征是：所述镜筒单元组件(1)包括多个镜片(6)、多个盘式镜框(7)、多个调整隔圈(8)、级联式镜筒(9)、多个微测力传感器(10)、多个调节螺钉(11)和信号线(12)；每个镜片(6)与每个盘式镜框(7)通过胶接方式连接，每个盘式镜框(7)之间通过调整隔圈(8)调整间隙，所述多个盘式镜框(7)置于级联式镜筒(9)内，微测力传感器(10)与盘式镜框(7)连接，所述调节螺钉(11)与级连式镜筒(9)之间通过螺纹连接，调节螺钉(11)与微测力传感器(10)连接，微测力传感器(10)测得的信号输出至A/D信号转换装置(2)。